| Model |
3D VMM-6060C |
| Khoảng di chuyển (mm) |
600 x 600 |
| Kích thược máy X/Y/Z (mm) |
1500 x 1300 x 1510 |
| Trọng lượng (kg) |
1300 |
| Khoảng di chuyển trục Z |
80 mm |
| Bộ phận hình ảnh kỹ thuật số |
Đo quang học tuyến tính và hiển thị trục XYZ ( 0.5 mm resolution) |
| Độ chính xác trục X／Y |
(3 + L/200) um; L = chiều dài đo (đơn vị: nm) |
| Bàn kiểm tra |
Granite／Passive Isolation Feet |
| Hệ quang điện |
SWIM-MS model |
| Khoảng đo chiều cao |
100 mm ( 400 mm, optional) |
| Độ chính xác chiều cao 3D |
0.1 nm |
| Khả năng lặp lại chiều cao 3D (σ) |
≦ 0.1 % ( Range： > 10 m m) |
| ≦ 10 nm ( Range：1 m m ~ 10 m m) |
| ≦ 5 nm ( Range： <1 m m ) |
| Tốc độ scan 3D |
12 mm ／s （Max.） |
| Nguồn sáng |
Đèn LED |
| Điều chỉnh cường độ sáng |
Thao tác tay / Auto |
| CPU/ hệ điều hành |
Dual-core Intel CPU hoặc cao hơn / WindowsXP |
| Màn hình/ Ổ cứng |
Two 17” LCD／ 200 GB hoặc cao hơn |
| Nguồn điện |
AC110V ／220V ;50Hz ／ 60Hz |
| Môi trường |
VC-C class hoặc cao hơn |
| Nhiệt độ/ độ ẩm |
20 ± 2 ℃; 55 ~ 65 % RH |
| Yêu cầu về khí |
Áp suất: 0.4 Mpa; Lưu lượng: 120 L/min |
| Phần mềm |
3D QIM 5008 ／ ImgScan ／ PostTopo
|